激光隐切,即激光隐形切割,是目前主流的芯片切割技术。这种技术可以将小功率的激光聚焦在一个直径仅有100多纳米的光斑上,形成巨大的局部能量,然后将晶圆切割开,可有效能避免大功率激光对芯片造成的影响。
【课题】
1、晶圆表面翘曲,切割精度难以保证
3500/22M-01-01-CN由于晶圆表面翘曲,切割晶圆时如果无法实时判别其高度,激光焦点便无法精确落在晶圆改质层,导致切割精度下降。
2、激光在加速、减速和转角段打出不均匀
由于高度跟随的位置锁存精度不高,尤其在速度有变化或转角的情况下,激光难以均匀地作用在被加工物体上,从而导致过度加工等现象。
3、平台控制精度、响应度不高
3500/22M-01-01-CN可能存在模拟量干扰、模拟量非线特性、模拟量零漂,或驱动器电流环延迟等影响,导致平台运动缓慢,响应性和精度不足。3500/22M-01-01-CN
350022M-01-01-CN
【解决方案】
1、实时高度跟随控制
切割晶圆时,通过欧姆龙位移传感器实时测量产品表面微小高度波动,并实时补偿到激光器所在的Z轴,确保激光焦点精确落在晶圆改质层
2、高速位置比较输出控制
3500/22M-01-01-CN欧姆龙通过采集实时的编码器反馈进行位置比较,与激光器同步输出信号进行相位同步,在运动轨迹的所有阶段以恒定的空间(而非时间)间隔采集高度数据,确保高度跟随算法的精度保证。
由此,有效避免了激光在加速、减速和转角段的过度加工等,使激光均匀地作用在被加工物体上。
3、欧姆龙PWM(脉冲宽度调制)控制技术
欧姆龙通过控制器直接产出开关量信号,经功率放大模块后直接控制电机电流环。无模拟量干扰、无模拟量非线特性、无模拟量零漂,无驱动器电流环延迟,使平台运动更快,更直接,提升运动响应性和稳定精度。