全球知名的气体和控制解决方案提供商MKS Instruments最近宣布，其SEMOZON®系列臭氧发生器中新增了一款高性能产品——AX8407。这款新型臭氧发生器以其高浓度、高流量和超洁净的臭氧生产能力，为半导体、制药和水处理行业提供了一种环保的替代方案。
【产品特性】 AX8407臭氧发生器通过无声电放电技术将纯氧转化为臭氧，能够在5至40标准升/分钟的流量范围内，实现高达335克/标准立方米的臭氧产出。这一产出水平远高于市场上其他同类产品，同时，由于其设计中只需要极微量的掺杂氮气，因此产生的污染物，如氮氧化物化合物的含量极低。
【技术规格】
- 臭氧产出：最高可达335 g/Nm³
- 流量范围：5 – 40 slm
- 电池压力：15 – 45 psig (100 – 310 kPa)
- 控制接口：前面板控制和远程操作
- 冷却水温度：5 – 25°C (41 – 77°F)
- 电源要求：208 VAC (±10%), 3Ø & Ground, no Neutral
- 尺寸：483 x 445 x 267 mm (19.0 x 17.5 x 10.5 in)
AX8407
【应用领域】
- 半导体行业：用于TEOS/臭氧CVD、Ta2O5 CVD、光刻胶条、晶圆清洗、污染物去除、表面调理、氧化物生长和ALD等。
- 制药行业：用于清洁、灭菌和消毒。
- 水处理：适用于清洁、灭菌和消毒，以及就地清洁(CIP)。
【市场反响】 MKS Instruments的AX8407臭氧发生器预计将在提高生产效率、降低运营成本以及推动环保生产方面发挥重要作用。它的推出进一步巩固了MKS Instruments在全球臭氧技术和解决方案领域的领导地位。
【未来展望】 随着全球对环保和可持续发展的重视，高浓度臭氧发生器的需求日益增长。AX8407的问世，不仅展示了MKS Instruments在臭氧技术领域的创新能力，也为工业环保工艺提供了新的动力。
【结语】 MKS Instruments AX8407臭氧发生器的推出，为工业界提供了一种高效、环保的臭氧生成解决方案。它的高性能和可靠性，将助力工业生产实现更绿色、更智能的发展。
