产品详情
产品细节:AX8407A 0190-17159 高浓度、高流量的臭氧发生器
AX8407A 0190-17159 是 MKS Instruments 生产的一款高浓度、高流量的臭氧发生器。以下是该产品的详细信息:
- 产品概述:
- AX8407 发生器通过无声电放电将纯氧气转化为臭氧,实现高输出和高浓度水平。它只需要极少量的掺杂氮气,远低于竞争性臭氧发生器所需的水平。因此,污染物(如 NOx 化合物)的存在极低 32。
- 主要特点:
- 高臭氧浓度和流量:臭氧浓度可达 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%(在 5°C 时),氧气流量范围为 5 – 40 slm,提供工艺灵活性 33。
- 清洁、安全的替代化学处理:臭氧具有高氧化还原电位,可以在现场生成,并且容易转化为氧气,是一种绿色化学品,易于转化为氧气 33。
- 低成本拥有:无需消耗品,无需化学处理成本 33。
- 可靠性和合规性设计:可靠性测试超过 100,000 小时,符合 CE、UL/CSA 和 SEMI F47 标准 33。
AX8400
产品参数:AX8407A 0190-17159 高浓度、高流量的臭氧发生器
- 臭氧输出:最大臭氧输出为 335 g/Nm³(在 5°C 冷却水时),305 g/Nm³(在 17°C 冷却水时) 32。
- 氧气流量范围:5 – 40 slm 32。
- 操作范围:环境温度 10 – 40°C(50 – 104°F),名义电池压力(输送)15 – 45 psig(100 – 310 kPa) 32。
- 控制接口:前面板控制和远程操作 32。
- 进气气体:氧气:6级或更好 O2,氮气:100 – 1000 ppm 5级或更好 N2 32。
- 冷却水温度:5 – 25°C(41 – 77°F) 32。
- 冷却水过滤:100 微米 32。
- 冷却水质量:电阻率 ≥ 50 KΩ/cm 32。
- 最小水流量:7.6 lpm(2.0 gpm) 32。
- 电源电压:208 VAC(±10%) 32。
- 相位:3Ø & GND,无中性 32。
- 电流要求:15 安培 32。
- 频率:50/60 Hz 32。
- 重量:59 kg(130 磅) 32。
- 尺寸:483 x 445 x 267 mm(19.0 x 17.5 x 10.5 英寸)(宽度 x 深度 x 高度)
AX8407A 0190-17159 高浓度、高流量的臭氧发生器 应用领域:
-
- 典型的半导体臭氧应用包括 TEOS/臭氧 CVD、Ta2O5 CVD、光刻胶剥离、晶圆清洗、污染物去除、表面调理、氧化物生长和 ALD。臭氧也非常适合用于制药和水处理应用,包括清洗、消毒和消毒,以及原位清洁(CIP) 32。
- 产品优势:
- 高纯度臭氧:AX8407 是市场上纯度最高的臭氧发生器,通过无声电放电将纯氧气转化为臭氧,实现最高输出浓度水平 35。
- 专利电池结构设计:能够生产高浓度臭氧,闭环操作提供更严格的工艺控制
Product Description
The AX8407A 0190-17159 is a high concentration, high flow ozone generator manufactured by MKS Instruments. Here are the details of the product:
Product Overview:
The AX8407 generator converts pure oxygen to ozone by silent electrical discharge, achieving high output and high concentration levels. It requires only a very small amount of doped nitrogen, far less than the level required for competitive ozone generators. As a result, the presence of pollutants, such as NOx compounds, is extremely low.
Main features:
High ozone concentrations and flows: Ozone concentrations up to 335 g/Nm³ or 21.7 wt% (at 5°C) and oxygen flows in a range of 5-40 slm provide process flexibility.
Clean, safe alternative chemical treatment: Ozone has a high REDOX potential, can be generated on site, and is easily converted to oxygen, is a green chemical that is easily converted to oxygen.
Low cost ownership: no consumables, no chemical processing costs.
Reliability and Compliance design: Over 100,000 hours of reliability testing, compliant with CE, UL/CSA and SEMI F47 standards.
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